掃描電子顯微鏡，簡稱為掃描電鏡，英文縮寫為SEM（Scanning Electron Microscope）。它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析。SEM已廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域。

　　SEM掃描電鏡由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

　　電子槍利用陰極與陽極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。目前大多數(shù)掃描電鏡采用熱陰極電子槍。優(yōu)點：燈絲價格便宜，真空要求不高；缺點：發(fā)射效率低，發(fā)射源直徑大，分辨率低。現(xiàn)在，高等級掃描電鏡采用六硼化鋪（LaB6）或場發(fā)射電子槍，二次電子像的分辨率可達(dá)到2nm。掃描電鏡的分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關(guān)。通常電壓為130kV。

　　SEM掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)：

　　常規(guī)電鏡樣品要求：

　　必須是干燥的，不含水分或揮發(fā)性物質(zhì)；

　　具有一定機(jī)械強度，能耐受電子束轟擊；

　　具有導(dǎo)電性，被激發(fā)時能夠產(chǎn)生足夠的二次電子。

　　生物材料特點：含水分多，質(zhì)地柔軟，機(jī)械強度小；組成元素的原子序數(shù)低，導(dǎo)電性差，激發(fā)后二次電子的產(chǎn)額較少。

　　制樣的任務(wù)：通過一系列處理，既要盡量保存材料的固有形態(tài)，又要改良其物理性能，使其適合在電鏡下觀察成像。